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Información del artículo en conferencia

Surface nanodot patterning of amorphous silicon films by low-energy ion beam sputtering

A. Redondo-Cubero, J.A. Sánchez-García, R. Gago, L. Vázquez, J. Muñoz-Garcia, M. Castro, R. Cuerno

Workshop on Nanopatterning via ions, photon beam and epitaxy, Sestri Levante (Italia). 23-27 septiembre 2007


Fecha de publicación: 23-sep-2007


Cita:
A. Redondo-Cubero, J.A. Sánchez-García, R. Gago, L. Vázquez, J. Muñoz-Garcia, M. Castro, R. Cuerno, "Surface nanodot patterning of amorphous silicon films by low-energy ion beam sputtering", presentado en Workshop on Nanopatterning via ions, photon beam and epitaxy, Sestri Levante, Italia, 23-27 septiembre 2007

    Grupos de investigación:
  • Instituto de Investigación Tecnológica (IIT)